真空调节器是一种复合式调节器, 当系统真空管路的真空度增高时, 真空室的真空度随之增高, 作用在上膜片上的压力差增大，上膜片克服弹簧的阻力，将通气螺栓的通气孔打开，真空进入缓气室，缓气室的气螺栓孔径与截流环孔径相配，使得下膜片带着重锤缓慢上移，大气从重锤开启的缝隙入真空管路。
类型1：真空调节器
真空调节器，如Equilibar EVR系列真空调节器，通过真空泵和过程之间的节流来控制过程真空。这种类型，通常被称为真空调节器，实际上是背压调节器，因为压力控制在入口处。调节器关闭以增加系统压力（或降低真空水平）。
在右边的简化示例中，真空调节器使用弹簧加载隔膜来控制真空压力。过程真空位于隔膜的下侧，大气压力位于顶部。弹簧向上拉以提供负设定点偏差。当过程压力变得太低（真空太强）时，隔膜降低，限制过程和真空供应泵之间的气流，从而降低真空水平。当压力增加到设定点以上（真空度太低）时，柱塞上升并且过程和供应泵之间的气流增加，从而增加真空水平。
类型2：真空断路器和真空释放调节器
另一种类型的真空控制器使环境空气进入真空系统以控制真空压力。这种类型的调节器通常称为真空断路器或真空释放调节器。这些调节器实际上是一种减压调节器，因为压力控制在出口处。调节器打开以增加过程压力（或降低真空度）。
真空释放调节器通常使用弹簧加载的隔膜，其上侧具有大气压力并且在下侧处理真空压力。在右边的这个简化示例中，弹簧实际上将隔膜向上拉以提供负设定点压力。当过程压力变得太低（真空度太高）时，柱塞迫使阀座向下，允许更多的外部空气进入过程。随着过程压力增加（真空压力增加）朝向设定点，柱塞再次上升以限制空气的流入。
